FFU(Fan Filter Unit)是風(fēng)機(jī)和過濾器的組合，也可稱為“自帶風(fēng)機(jī)的過濾設(shè)備”。FFU通常安裝在潔凈室的送風(fēng)末端，一般放置在吊裝的“干式”墊片密封龍骨框架上。FFU上面部分為風(fēng)機(jī)模塊，下面部分為過濾器。根據(jù)潔凈度的要求，過濾器可為不同等級(jí)的高效（HEPA）或超高效（ULPA）過濾器，為潔凈室提供潔凈空氣。風(fēng)機(jī)模塊除了要克服FFU下部高效過濾器的阻力，還要克服整個(gè)循環(huán)風(fēng)所有通道部件的阻力，從而維持設(shè)定的運(yùn)行風(fēng)速。FFU系統(tǒng)具有設(shè)計(jì)施工簡(jiǎn)便，風(fēng)速調(diào)節(jié)靈活，潔凈區(qū)易于變更等特點(diǎn)，因此已成為工業(yè)潔凈室的流行系統(tǒng)形式之一
該機(jī)組設(shè)計(jì)整體靈活，便于與專用型吊頂骨架以及其他一些合適的骨架配合使用。當(dāng)過濾器采用刀邊型框架時(shí)，這種機(jī)組也可用于液槽密封吊頂骨架，根據(jù)設(shè)計(jì)的規(guī)格，他可輕而易舉配合任何吊頂骨架，達(dá)到潔凈等級(jí)要求。外框可選用鋁質(zhì)或不銹鋼，各具特色。采用這種機(jī)組，可以為潔凈室輸送高質(zhì)量的空氣，而且空氣流通好。它適合用于半導(dǎo)體、電子、平板顯示器和磁盤驅(qū)動(dòng)器的廠家及光學(xué)、生物工業(yè)及其他對(duì)空氣中污染有嚴(yán)格控制要求的地方。
一般萬級(jí)無塵室所用的高效過濾器，它能對(duì)空氣中粒徑為0.3um的微粒子過濾效率達(dá)到99.99%，出風(fēng)風(fēng)速0.4m/s，最大不能有超過20KG以上的外力作用于過濾器上，以免破壞過濾器組織架構(gòu)。
因?yàn)镕FU是自帶動(dòng)力的，它不受區(qū)域的限制。在一個(gè)偌大的潔凈廠房里，可根據(jù)需要，分區(qū)控制。而且，隨著半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝的變化，廠房布局必然要作相應(yīng)調(diào)整，F(xiàn)FU的靈活性使得這樣的調(diào)整變得輕松，而且不會(huì)帶來二次投資。
第二：可再利用性。
從理論上講，一時(shí)不用的FFU設(shè)備，可以拆下來，密封好，妥善保管，留待下次使用。
第三：負(fù)壓通風(fēng)。
這是FFU的獨(dú)特特點(diǎn)。由于它本身能夠提供靜壓，使得送風(fēng)靜壓箱相對(duì)于潔凈廠房負(fù)壓。這樣，靜壓箱內(nèi)的顆粒就不會(huì)受到壓力的作用泄漏到潔凈區(qū)里，使得密封變得很簡(jiǎn)單而且安全。
第四：縮短建設(shè)周期。
使用FFU省掉了風(fēng)管的制作和安裝，因?yàn)轱L(fēng)管在潔凈工程中，占掉很大的建設(shè)周期，任何一個(gè)投資者都希望投資能盡快帶來收益，選用FFU成為了一種可能。
第五：減少運(yùn)行成本。
該機(jī)組設(shè)計(jì)整體靈活，便于與專用型吊頂骨架以及其他一些合適的骨架配合使用。當(dāng)過濾器采用刀邊型框架時(shí)，這種機(jī)組也可用于液槽密封吊頂骨架，根據(jù)設(shè)計(jì)的規(guī)格，他可輕而易舉配合任何吊頂骨架，達(dá)到潔凈等級(jí)要求。外框可選用鋁質(zhì)或不銹鋼，各具特色。采用這種機(jī)組，可以為潔凈室輸送高質(zhì)量的空氣，而且空氣流通好。它適合用于半導(dǎo)體、電子、平板顯示器和磁盤驅(qū)動(dòng)器的廠家及光學(xué)、生物工業(yè)及其他對(duì)空氣中污染有嚴(yán)格控制要求的地方。
一般萬級(jí)無塵室所用的高效過濾器，它能對(duì)空氣中粒徑為0.3um的微粒子過濾效率達(dá)到99.99%，出風(fēng)風(fēng)速0.4m/s，最大不能有超過20KG以上的外力作用于過濾器上，以免破壞過濾器組織架構(gòu)。
FFU的特點(diǎn)：
第一：靈活性。因?yàn)镕FU是自帶動(dòng)力的，它不受區(qū)域的限制。在一個(gè)偌大的潔凈廠房里，可根據(jù)需要，分區(qū)控制。而且，隨著半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝的變化，廠房布局必然要作相應(yīng)調(diào)整，F(xiàn)FU的靈活性使得這樣的調(diào)整變得輕松，而且不會(huì)帶來二次投資。
第二：可再利用性。
從理論上講，一時(shí)不用的FFU設(shè)備，可以拆下來，密封好，妥善保管，留待下次使用。
第三：負(fù)壓通風(fēng)。
這是FFU的獨(dú)特特點(diǎn)。由于它本身能夠提供靜壓，使得送風(fēng)靜壓箱相對(duì)于潔凈廠房負(fù)壓。這樣，靜壓箱內(nèi)的顆粒就不會(huì)受到壓力的作用泄漏到潔凈區(qū)里，使得密封變得很簡(jiǎn)單而且安全。
第四：縮短建設(shè)周期。
使用FFU省掉了風(fēng)管的制作和安裝，因?yàn)轱L(fēng)管在潔凈工程中，占掉很大的建設(shè)周期，任何一個(gè)投資者都希望投資能盡快帶來收益，選用FFU成為了一種可能。
第五：減少運(yùn)行成本。
雖然在選用FFU時(shí)，初期投資要比使用風(fēng)管通風(fēng)高，但它在后期運(yùn)行中，突出的表現(xiàn)出節(jié)能、免維護(hù)等特點(diǎn)。
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