根據(jù)建筑專業(yè)提供的建筑平面圖，工藝專業(yè)提供的工藝設(shè)備平面圖和工藝對各潔凈室的潔凈度，溫、濕度等環(huán)境的要求，即可進(jìn)行凈化空調(diào)系統(tǒng)的劃分工作。
（一）凈化空調(diào)系統(tǒng)的劃分原則
1、潔凈度，溫、濕度及其精度相同或相近的潔凈房間宜劃為一個(gè)凈化空調(diào)系統(tǒng)。便于潔凈度和溫、濕度的控制。
2、距離較近的潔凈房間宜劃為一個(gè)系統(tǒng)，可減少系統(tǒng)管道的長度和管道交叉。
3、有條件時(shí)可將 4 級、5 級單向流和 6 級、7 級、8 級非單向流組成混合流凈化空調(diào)系統(tǒng)。
4、潔凈室不宜與一般空調(diào)房間合為一個(gè)系統(tǒng)。
5、使用規(guī)律和使用時(shí)間不相同的潔凈室不宜合為一個(gè)凈化空調(diào)系統(tǒng)。
6、產(chǎn)塵量大、發(fā)熱量大、有害物多、噪聲大的房間宜單獨(dú)設(shè)計(jì)為一個(gè)系統(tǒng)。 7、混合后會產(chǎn)生劇毒、引起火災(zāi)和爆炸的房間不應(yīng)合為一個(gè)凈化空調(diào)系統(tǒng)。 8、有劇毒和易燃易爆的甲、乙類房間應(yīng)單獨(dú)設(shè)系統(tǒng)，而且應(yīng)為不回風(fēng)的直流系統(tǒng)。
9、一個(gè)凈化空調(diào)系統(tǒng)不易過大。一般情況下，凈化送風(fēng)量不宜超過 100,000 m否則空氣處理設(shè)備過大、噪聲大、送回風(fēng)管道大、占空間和面積大，使用也不靈活。
10、凈化空調(diào)系統(tǒng)劃分時(shí)還應(yīng)考慮到送風(fēng)管、回風(fēng)管、排風(fēng)管以及水,電,氣等管線的布置，盡量作到合理、短捷、使用管理方便，盡量減少交叉和重疊。 11、凈化空調(diào)系統(tǒng)新風(fēng)的熱濕和凈化處理可集中也可分散設(shè)置。
（二）工藝設(shè)備局部排風(fēng)系統(tǒng)的劃分原則
1、工藝設(shè)備的局部排風(fēng)系統(tǒng)不宜過大，每個(gè)排風(fēng)系統(tǒng)的排風(fēng)點(diǎn)數(shù)不宜過多，這樣排風(fēng)管理調(diào)節(jié)方便，排風(fēng)效果好。
2、一個(gè)排風(fēng)系統(tǒng)不宜跨在兩個(gè)或兩個(gè)以上的凈化空調(diào)系統(tǒng)。
3、混合后產(chǎn)生劇毒、爆炸、火災(zāi)、凝水、結(jié)晶和有害物的排風(fēng)不應(yīng)合為一個(gè)排風(fēng)系統(tǒng)。
4、使用規(guī)律不同房間和設(shè)備的排風(fēng)不應(yīng)合為一個(gè)排風(fēng)系統(tǒng)。
五．潔凈室凈化空調(diào)系統(tǒng)送風(fēng)型式的比較選擇
（一）凈化送風(fēng)和空調(diào)送風(fēng)合一的送風(fēng)型式，通常也稱作集中式送風(fēng)型式。此方案的凈化空調(diào)機(jī)組（空氣處理機(jī)組 AHU）集中設(shè)置在空調(diào)機(jī)房內(nèi)，全部的凈化空調(diào)送風(fēng)均在凈化空調(diào)機(jī)組內(nèi)進(jìn)行凈化和熱、濕處理，然后由龐大的送風(fēng)管道將全部的送風(fēng)輸送到潔凈室的吊頂上部，再經(jīng)過設(shè)在潔凈室吊頂上的終端高效過濾器或高效過濾器送風(fēng)口過濾后送到潔凈室內(nèi)，來實(shí)現(xiàn)潔凈室工藝生產(chǎn)所需要的溫度、濕度、潔凈度和房間的壓差，潔凈室的回風(fēng)經(jīng)回風(fēng)口、回風(fēng)管再接回到空調(diào)機(jī)房的凈化空調(diào)機(jī)組內(nèi)與新風(fēng)混合后重復(fù)進(jìn)行凈化和熱、濕處理。
此方案又可分為全新風(fēng)送風(fēng)方案（直流系統(tǒng)）；一次回風(fēng)方案；一、二次回風(fēng)方案和(MAU)加(FFU)方案等四種不同的凈化空調(diào)送風(fēng)型式。這種送風(fēng)方案是當(dāng)前潔凈室特別是非單向流潔凈室應(yīng)用最廣泛的凈化空調(diào)送風(fēng)方案。這種送風(fēng)方案的系統(tǒng)劃分明確，風(fēng)量和溫、濕度控制調(diào)節(jié)都單一。
但是潔凈度級別較高、送風(fēng)量較大時(shí)，存在著空調(diào)機(jī)房占面積大，送、回風(fēng)管體積大占面積和占空間大，送、回風(fēng)管道長，送風(fēng)機(jī)的余壓高，噪音大,風(fēng)量輸送耗電量大等問題。因此，這種送風(fēng)方案較適用在低級別的非單向流潔凈室的送風(fēng)，對 5 級以上的單向流潔凈室送風(fēng)就不太經(jīng)濟(jì)合理了。
1. AHU 全新風(fēng)的凈化空調(diào)送風(fēng)方案（直流系統(tǒng)）
全新風(fēng)凈化空調(diào)送風(fēng)方案是用于特殊的不允許回風(fēng)的潔凈室的送風(fēng)方案中。 如：潔凈室內(nèi)工藝生產(chǎn)類別為甲、乙類火災(zāi)危險(xiǎn)等級或工藝過程產(chǎn)生有劇毒等有害物不允許回風(fēng)的潔凈送風(fēng)系統(tǒng)中。
2.AHU 一次回風(fēng)的凈化空調(diào)送風(fēng)方案
一次回風(fēng)的送風(fēng)方案多用在潔凈室內(nèi)的發(fā)熱量或產(chǎn)濕量很大，消除室內(nèi)余熱或余濕的送風(fēng)量大于、等于或近于凈化送風(fēng)量的低潔凈度等級的非單向流潔凈室中。
3.AHU 一、二次回風(fēng)的凈化空調(diào)送風(fēng)方案
為了節(jié)能、消除空氣熱濕處理過程中的冷熱相互抵消，在潔凈室凈化送風(fēng)量大于其消除余熱、余濕的空調(diào)送風(fēng)量時(shí)，最好采用一、二次回風(fēng)方案，將二次混合點(diǎn)設(shè)計(jì)在系統(tǒng)送風(fēng)點(diǎn)上,該方是最節(jié)能、最經(jīng)濟(jì)的送風(fēng)方案。
4.MAU+RAU 的凈化空調(diào)送風(fēng)方案
此方案多用于多個(gè)潔凈室其潔凈度，溫、濕度要求不同，室內(nèi)的產(chǎn)熱量和產(chǎn)濕量也不盡相近，為了確保每個(gè)潔凈室的潔凈度，溫、濕度及其精度的要求,就要設(shè)置多個(gè)循環(huán)機(jī)組,循環(huán)機(jī)組的送風(fēng)量是凈化送風(fēng)量,并且在機(jī)組內(nèi)設(shè)置必要的熱、濕處理設(shè)備,用來補(bǔ)充新風(fēng)機(jī)組熱、濕處理的不足和保證該潔凈室溫、濕度精度的微調(diào)節(jié)。由于循環(huán)機(jī)組設(shè)在潔凈室的吊頂上面，循環(huán)機(jī)組的送風(fēng)余壓相對都較小，機(jī)組體積和機(jī)組噪聲、振動也較小，送回風(fēng)管也比較短??；但是，要注意循環(huán)機(jī)組的凝結(jié)水排放問題，往往這種方案的問題都出在凝結(jié)水排放的處理上。
此方案的新風(fēng)機(jī)組設(shè)在空調(diào)機(jī)房內(nèi)，這些潔凈室所需的新風(fēng)全部由新風(fēng)機(jī)組（MAU）進(jìn)行凈化和熱濕的集中處理。然后分配到每一個(gè)循環(huán)機(jī)組內(nèi)與其回風(fēng)混合。新風(fēng)機(jī)組的新風(fēng)量不僅僅要補(bǔ)充各潔凈室的排風(fēng)還要保證每個(gè)潔凈室的正壓。新風(fēng)機(jī)組的熱濕處理最好到某潔凈室空氣的機(jī)械露點(diǎn)上，如果將新風(fēng)熱濕處理點(diǎn)低于潔凈室的機(jī)械露點(diǎn)作到新風(fēng)不僅承擔(dān)新風(fēng)本身的濕負(fù)荷，而且還將潔凈室的濕負(fù)荷也消除掉，此時(shí)循環(huán)機(jī)組內(nèi)的表冷器可為干式表冷器。 （二）、凈化送風(fēng)和空調(diào)送風(fēng)分離的方案，此方案通常被稱作半集中式或分散式的送風(fēng)方案。為了大大地節(jié)省運(yùn)行時(shí)的能耗，將消除潔凈室內(nèi)余熱、余濕的空調(diào)送風(fēng)量（通常大大地小于潔凈室的凈化送風(fēng)量），由設(shè)在空調(diào)機(jī)房內(nèi)的新風(fēng)機(jī)組(MAU)進(jìn)行必要的凈化和熱濕處理，而將占總送風(fēng)量 50~90%的保證潔凈室潔凈度的凈化送風(fēng)量由設(shè)在潔凈室附近的循環(huán)機(jī)組進(jìn)行凈化和補(bǔ)充的熱、濕處理，或直接采用吊頂上的 FFU（風(fēng)機(jī)過濾器機(jī)組）和干盤管來解決潔凈室的潔凈度等級和溫度的微調(diào)節(jié)。
此種凈化送風(fēng)與空調(diào)送風(fēng)相分離的送風(fēng)方案，不僅可節(jié)省運(yùn)行的能耗，而且大大地減少了空調(diào)機(jī)房面積，省掉了龐大的送、回風(fēng)管道，降低了潔凈室的空間高度。此種凈化空調(diào)送風(fēng)方案又可分為：空調(diào)機(jī)組(AHU)加風(fēng)機(jī)過濾器機(jī)組(FFU)方案,新風(fēng)機(jī)組（MAU）加循環(huán)機(jī)組（RAU）加（FFU）方案；新風(fēng)機(jī)組（MAU）加風(fēng)機(jī)過濾器機(jī)組（FFU）加干冷盤管(DC)方案等三種送風(fēng)方案。
1． 空調(diào)機(jī)組 AHU(MAU）加風(fēng)機(jī)過濾器機(jī)組（FFU）的凈化空調(diào)送風(fēng)方案此方案中凈化空調(diào)系統(tǒng)的全部熱、濕負(fù)荷（潔凈室內(nèi)產(chǎn)生的熱、濕負(fù)荷及新風(fēng)的熱、濕負(fù)荷）全部由設(shè)在空調(diào)機(jī)房內(nèi)的空調(diào)機(jī)組來負(fù)擔(dān)。此時(shí)，空調(diào)機(jī)組的送風(fēng)量是消除本系統(tǒng)余熱、余濕的空調(diào)送風(fēng)量（其中包括全部新風(fēng)和部分回風(fēng)，但遠(yuǎn)遠(yuǎn)小于保證潔凈室潔凈度等級的凈化送風(fēng)量），它應(yīng)能確保潔凈室內(nèi)的溫度和相對濕度的恒定。而該潔凈室的潔凈度由設(shè)在潔凈室吊頂上的風(fēng)機(jī)過濾器機(jī)組（FFU）將凈化送風(fēng)量就地循環(huán)過濾來保證。此方案中應(yīng)該注意的是，F(xiàn)FU 運(yùn)行過程中所產(chǎn)生的熱量也應(yīng)由空調(diào)機(jī)組來承擔(dān)。此方案更適合用于在大面績非單向流潔凈室內(nèi)有局部的垂直單向流的混合流潔凈室中。
2． 新風(fēng)機(jī)組（MAU）加循環(huán)機(jī)組（RAU）加風(fēng)機(jī)過濾器單元（FFU）凈化空調(diào)送風(fēng)方案，此方案多用于多個(gè)潔凈室其潔凈度，溫、濕度要求不同，室內(nèi)的產(chǎn)熱量和產(chǎn)濕量也不盡相近，為了確保每個(gè)潔凈室的潔凈度，溫、濕度及其精度的要求,就要設(shè)置多個(gè)循環(huán)機(jī)組,循環(huán)機(jī)組的送風(fēng)量是凈化送風(fēng)量,并且在機(jī)組內(nèi)設(shè)置必要的熱、濕處理設(shè)備,用來補(bǔ)充新風(fēng)機(jī)組熱、濕處理的不足和保證該潔凈室溫、濕度精度的微調(diào)節(jié)。由于循環(huán)機(jī)組設(shè)在潔凈室的吊頂上面，循環(huán)機(jī)組的送風(fēng)余壓相對都較小，機(jī)組體積和機(jī)組噪聲、振動也較小，送回風(fēng)管也比較短??；但是，要注意循環(huán)機(jī)組的凝結(jié)水排放問題，往往這種方案的問題都出在凝結(jié)水排放的處理上。此方案的新風(fēng)機(jī)組設(shè)在空調(diào)機(jī)房內(nèi)，這些潔凈室所需的新風(fēng)全部由新風(fēng)機(jī)組（MAU）進(jìn)行凈化和熱濕的集中處理。然后分配到每一個(gè)循環(huán)機(jī)組內(nèi)與其回風(fēng)混合。新風(fēng)機(jī)組的新風(fēng)量不僅僅要補(bǔ)充各潔凈室的排風(fēng)還要保證每個(gè)潔凈室的正壓。新風(fēng)機(jī)組的熱濕處理最好到某潔凈室空氣的機(jī)械露點(diǎn)上，如果將新風(fēng)熱濕處理點(diǎn)低于潔凈室的機(jī)械露點(diǎn)作到新風(fēng)不僅承擔(dān)新風(fēng)本身的濕負(fù)荷，而且還將潔凈室的濕負(fù)荷也消除掉，此時(shí)循環(huán)機(jī)組內(nèi)的表冷器可為干式表冷器。
當(dāng)多個(gè)潔凈室中有若干個(gè) 1 級、10 級、100 級等高凈化級別的垂直單向流潔凈室時(shí)，為了減少循環(huán)機(jī)組（RAU）的負(fù)擔(dān)和送、回風(fēng)管道的斷面，此時(shí)循環(huán)機(jī)組僅解決該單向流潔凈室的空調(diào)送風(fēng)量，以保證潔凈室的溫度、相對濕度和潔凈室的正壓，而占 90％以上的絕大部分送風(fēng)量有設(shè)在潔凈室吊頂上的 FFU 來負(fù)擔(dān)，以保證潔凈室的高潔凈度級別。
3． 新風(fēng)機(jī)組（MAU）加風(fēng)機(jī)過濾器機(jī)組（FFU）加干冷盤管(DC)的凈化空調(diào)送風(fēng)方案此方案是新風(fēng)機(jī)組將新風(fēng)處理到潔凈室熱濕比 線與相對濕度 95%線交點(diǎn)以下，新風(fēng)機(jī)組不僅將本身的濕負(fù)荷去掉，而且還負(fù)擔(dān)潔凈室內(nèi)產(chǎn)生的濕負(fù)荷，新風(fēng)機(jī)組要確保潔凈室所需要的相對濕度。而新風(fēng)機(jī)組熱處理不足部分的干冷負(fù)荷將由設(shè)在潔凈室吊頂上（或夾道內(nèi)）的干表冷器來補(bǔ)充。因干表冷器是設(shè)在 FFU 循環(huán)空氣通過的吊頂上或夾道內(nèi)，因此，干表冷所彌補(bǔ)的干冷負(fù)荷被循環(huán)空氣帶到潔凈室內(nèi)。由新風(fēng)機(jī)組處理過的新風(fēng)用管道以最能與 FFU 循環(huán)空氣均勻混合的方式送到潔凈室的送風(fēng)靜壓箱內(nèi)。
FFU 布置在潔凈室的吊頂上，與新風(fēng)混合的循環(huán)風(fēng)經(jīng) FFU 被高效過濾器過濾后送到潔凈室內(nèi)，以保證潔凈室的潔凈度。FFU 的規(guī)格以 1200mm×600mm 和 1200mm×1200mm 居多，其斷面風(fēng)速應(yīng)為≥0.45m/s，余壓應(yīng)≥120Pa，噪聲應(yīng)≤50dB(A)為好。
FFU 的風(fēng)機(jī)風(fēng)量應(yīng)可調(diào)，高效過濾器應(yīng)可更換。干冷盤管一般由雙排組成，為了減小阻力鋁翅片間距≥3mm，阻力損失應(yīng)為 30~40Pa，循環(huán)風(fēng)通過干盤管的面風(fēng)速< 2m/s，最好為 1.5m/s。進(jìn)入干盤管冷水的進(jìn)水溫度應(yīng)高于潔凈室露點(diǎn)溫度 2℃,通常稱為中溫冷凍水。雖然叫干盤管，但在起始運(yùn)行時(shí)還可能有凝結(jié)水產(chǎn)生，因此干盤管還應(yīng)有凝結(jié)水滴水盤和排水措施。
此方案中，潔凈室的相對濕度由新風(fēng)機(jī)組（MAU）來保證，潔凈室的溫度由干冷盤管來保證，潔凈室的潔凈度由 FFU 來保證。這種 MAU 加 FFU 加 DC 的凈化空調(diào)送風(fēng)方案，目前在我國和外國的微電子（集成電路）工業(yè)、光電子（TFT-LCD、LCD、LED 等）工業(yè)等大面積、高潔凈度等級的潔凈廠房中得以廣泛應(yīng)用，它具有調(diào)節(jié)方便，節(jié)能顯著，適應(yīng)工藝的更新?lián)Q代，又大大地節(jié)省了非生產(chǎn)面積和非生產(chǎn)空間的優(yōu)點(diǎn)。而且，隨著潔凈技術(shù)和潔凈設(shè)備的不斷發(fā)展和進(jìn)步，F(xiàn)FU 風(fēng)機(jī)的效率不斷提高，耗電量不斷降低,整體價(jià)格不斷下降，其初投資也與其他類型的送風(fēng)方案基本持平,但運(yùn)行費(fèi)卻大大節(jié)省。